微機電是兼具電子與機械元件的微小元件，透過一連串微型加工的製程，整合電子處理與機械作動，成為微米以下的微系統。風靡一時的任天堂遊戲機Wii與手機中的陀螺儀、印表機裡的壓電元件、汽車裡的動態控制穩定系統、微型投影機等，應用相當廣泛。

工研院在2000年前後投入智慧感測領域，打造臺灣第一條微機電產線，2001年技轉華新麗華公司，技轉範圍包括製程技術、設備know-how與廠房設計等，是臺灣該領域第一樁整廠技轉案例。2003年成立「微機電系統技術使用者聯盟」，提供相關設備與技術平台，協助業界加速先進製程產品技術的開發。

此後，工研院智慧感測領域觸角更為多元，2008年發展臺灣第一顆微機電麥克風、2010年與環球水泥合作軟性壓力感測器，助傳產跨入電子業；2013年所開發之三軸加速度計與六軸慣性感測元件，技轉並Spin-in類比IC大廠立錡公司，促其成立感測新事業部。近年研發成果包括氣體感測器、低電壓驅動麥克風感測元件、第一顆國產PM2.5空品感測器、第一顆國產振動感測器、單光子感測器、熱影像感測器等，促成酒測晶片、空品監測系統、光達晶片、智慧製造設備預診斷系統、熱影像安護系統等應用，裨益產業並增進民眾福祉。