1971年，發生釣魚台事件、中華民國退出聯合國；1972年臺日斷交；1973年爆發全球性的石油危機，石油價格連連攀升。外交的挫敗與雪上加霜的通貨膨脹，頓時讓國內景氣陷入蕭條。時任經濟部長孫運璿深覺臺灣「再不做，就趕不上了！」，決定將聯合工業研究所、聯合礦業研究所及金屬工業研究所等3個單位合併成立一個研究院，且以財團法人的方式運作，使其擺脫公家單位用人、待遇及設備採購上的限制，在用人、薪資及管理上較具彈性，不再是一個政府單位。

1972年8月10日「工業技術研究院設置條例草案」送進立法院，當時許多立委反對，在部長孫運璿耐心反覆說明之下，終於1973年1月25日立法院三讀通過，同年7月5日工業技術研究院正式成立。