立足於計量標準的基石，工研院發展產業量測技術與測試驗證服務，為我國樹立傲視全球的產品品質。量測技術失之毫釐，產品品質將差之千里，像是半導體、能源、醫藥、航空…等精密科技產業，均透過量測以確保生產商品符合國際的標準與法規要求，且具備最先進的市場競爭力。

工研院維運國家度量衡標準實驗室，為我國度量衡標準把關，同時發展前瞻性量測技術，並提供測試驗證服務，協助產業提升製造能力。如1991年完成光電式三次元物體表面量測系統，建立高效益之光電檢測與量測技術，提升國內自動化的水準。1994年光電半導體量測實驗室成立，是國內第一個通過中華民國實驗室認證體系(CNLA)的LED量測實驗室，致力於光電半導體材料和元件特性之分析研究與測試，並取得美國國家志願性實驗室認證體系(NVLAP)認可，提供固態照明產品之測試服務。1998年獲美國美國聯邦食品藥物管理署(FDA)審核通過，認可為第二等級醫療器材上市前通知(Premarket Notification；510(k))之第三者審查機構，為亞洲第一個510(k)醫療器材審查機構，讓國內11類醫材在美國行銷，成為中美醫療器材管理合作橋梁。2000年開發國內首次可應用於量測通訊產品的動態信號3 GHz頻譜分析儀。2004年完成全國第一套交通號誌太陽光測試系統。2007年成為國內首次自行開發「密度標準液」的單位。2009太陽光電測試實驗室通過TAF認證，提供國內PV產業測試服務。2010年與美國國家標準與技術研究院(NIST)合作完成全球首次實現的「非穩頻雙光梳測距系統」，除了作為本身的雷射光譜學中的光頻率測量，還可以應用在光學原子鐘、呼吸分子成分分析（可用於診斷疾病）、光纖通訊、雷射雷達（LIDAR，用於定向與測距）等。2012年LED照明測試實驗室取得IECEE CBTL資格，成為國內第一座符合國際標準IECEE之國際級LED照明測試實驗室，提供國內LED業者更即時在地的國際性合格檢測。因應半導體製程微縮，2015年研發「新世代溶液奈米粒子監測系統SuperSizer」，可量測粒子最小達五奈米，讓半導體產業有雙看見更小微粒「鷹眼」，改善製程困境，並於2017年衍生成立「兆晟奈米」，為先進製程良率把關。2017年衍生成立「邑流微測公司」，運用顯微流體晶片系統技術，解決液態樣品無法在電子顯微鏡於真空下進行檢測之限制。2022年通過TAF認證成為溫室氣體查證機構，為我國業者提供符合國際標準的碳盤查相關服務。2022年開發半導體2奈米GAA製程X光量測技術、線上晶圓級高深寬比TSV檢測技術，為半導體先進製程良率提供重要解方。